पीईसीवीडी फर्नेस

पीईसीवीडी फर्नेस

1.प्रकार: 1200 डिग्री स्लाइडर-प्रकार दोहरी जोन पीईसीवीडी प्रणाली
2. चरण संख्या: एकल चरण
3. थर्मोकपल प्रकार: K प्रकार
4.मॉडल: टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री -पीईसीवीडी
5. MOQ:1set
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उत्पाद का परिचय

 

1200 डिग्री स्लाइडर टाइप डुअल जोन PECVD सिस्टम

 

विनिर्देश

 

नमूना

टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री

-PECVD-I

टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री

-पीईसीवीडी-II

टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री

-पीईसीवीडी-III

टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री

-पीईसीवीडी-IV

शक्ति

3 किलोवाट

3 किलोवाट

4 किलोवाट

4 किलोवाट

फर्नेस ट्यूब का आकार (मिमी)

दीया 60(OD) X1800mm

दीया 80(ओडी) एक्स1800मिमी

दीया 100(ओडी) X1800mm

दीया 120(ओडी) एक्स1800मिमी

आयाम

1800X410X610

1800X410X610

1800X460X660

1800X460X660

बिजली की आपूर्ति की वोल्टेज

220V

चरण संख्या

सिंगल फेज़

नियंत्रण विधा

युडियन तापमान नियंत्रण

30 अनुभाग केवल पीआईडी ​​तापमान विनियमन का उपयोग कर सकते हैं।

FP93 तापमान नियंत्रण (जापान से)

(अतिरिक्त शुल्क के लिए आयातित उपकरणों को बदलें)

1,40 खंड कार्यक्रम तापमान नियंत्रण को 4,2,1 समूह कार्यक्रम में विभाजित किया जा सकता है, यदि कार्यक्रम को चार समूहों में विभाजित किया गया है, तो प्रत्येक कार्यक्रम खंड 10,

2,6 समूह पीआईडी ​​नियंत्रण, निम्न, मध्यम और उच्च तापमान प्रत्येक पीआईडी ​​के एक सेट के साथ कर सकते हैं, जैसे कि प्रत्येक खंड तापमान को बहुत सटीक रूप से नियंत्रित करने में सक्षम है।

तापमान नियंत्रण मोड

बुद्धिमान पीआईडी

बर्नआउट सुरक्षा और प्रदर्शन

 

हाँ

अधिक तापमान से सुरक्षा

हाँ

अतिवर्तमान सुरक्षा

हाँ

सटीकता पर नियंत्रण रखें

+/- 1 डिग्री

चालू कर देना

चरण-शिफ्ट ट्रिगर

एससीआर

106/16ई जर्मनी साइमन कांग

1.2 तापमान क्षेत्र अधिकतम तापमान

1200 डिग्री

1.2 तापमान क्षेत्र

रेटेड तापमान

1150 डिग्री

तापन दर

30 डिग्री/मिनट से कम या उसके बराबर (अनुरोध संशोधन पर उपलब्ध)

अनुशंसित ताप दर

15 डिग्री/मिनट से कम या उसके बराबर

थर्मोकपल प्रकार

के प्रकार

1.2 तापमान क्षेत्र तापन लंबाई

205 मिमी

आसपास की सतह का तापमान

45 डिग्री से कम या उसके बराबर

प्लाज्मा आरएफ पावर

पावर आउटपुट रेंज

0-500W

अधिकतम परावर्तित शक्ति

10W

सिग्नल आवृत्ति

13.56MHZ ± 0.005%

शोर

<30 dB

हवा ठंडी करना

ठंडा करने की विधि

इनपुट शक्ति

208-240वी 50/60एचजेड

जीएक्स आपूर्ति प्रणाली के मुख्य पैरामीटर

मानक सीमा

प्रोटॉन प्रवाह नियंत्रक 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM

(आप कोई भी पैमाना चुन सकते हैं)

शुद्धता

± 1.5%

दबाव में गिरावट

<0.01MPa

repeatability

± 0.2% F.S

अधिकतम

परिचालन दाब

3 MP

वी.एस.-0.1 निकास प्रणाली

बिजली की आपूर्ति

220V / 380V 380W

पम्पिंग दर

2L / S

प्रतिरोध वैक्यूम गेज

ZDR-I

वैक्यूम माप सीमा

0.1-10 5 पा

वैक्यूम पंप

वीआरडी-8

नालीदार पाइप

KF25X1000mm

वैक्यूम प्रणाली

10 -1पा

 

उत्पाद का प्रदर्शन

 

 

PECVD Furnace

PECVD Furnace

 

हमारा प्रमाणपत्र
अधिक प्रमाणपत्र

पेटेंट प्रमाणपत्र

patent certificate

आईएसओ 9001

ISO 9001

सीई प्रमाणपत्र

ce certificate

 

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फ़ोन:+86-18120715609

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