
पीईसीवीडी फर्नेस
2. चरण संख्या: एकल चरण
3. थर्मोकपल प्रकार: K प्रकार
4.मॉडल: टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री -पीईसीवीडी
5. MOQ:1set
1200 डिग्री स्लाइडर टाइप डुअल जोन PECVD सिस्टम
विनिर्देश
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नमूना |
टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री -PECVD-I |
टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री -पीईसीवीडी-II |
टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री -पीईसीवीडी-III |
टीओबी-डीएसपी-1200 डिग्री -पीईसीवीडी-IV |
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शक्ति |
3 किलोवाट |
3 किलोवाट |
4 किलोवाट |
4 किलोवाट |
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फर्नेस ट्यूब का आकार (मिमी) |
दीया 60(OD) X1800mm |
दीया 80(ओडी) एक्स1800मिमी |
दीया 100(ओडी) X1800mm |
दीया 120(ओडी) एक्स1800मिमी |
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आयाम |
1800X410X610 |
1800X410X610 |
1800X460X660 |
1800X460X660 |
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बिजली की आपूर्ति की वोल्टेज |
220V |
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चरण संख्या |
सिंगल फेज़ |
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नियंत्रण विधा |
युडियन तापमान नियंत्रण 30 अनुभाग केवल पीआईडी तापमान विनियमन का उपयोग कर सकते हैं। FP93 तापमान नियंत्रण (जापान से) (अतिरिक्त शुल्क के लिए आयातित उपकरणों को बदलें) 1,40 खंड कार्यक्रम तापमान नियंत्रण को 4,2,1 समूह कार्यक्रम में विभाजित किया जा सकता है, यदि कार्यक्रम को चार समूहों में विभाजित किया गया है, तो प्रत्येक कार्यक्रम खंड 10, 2,6 समूह पीआईडी नियंत्रण, निम्न, मध्यम और उच्च तापमान प्रत्येक पीआईडी के एक सेट के साथ कर सकते हैं, जैसे कि प्रत्येक खंड तापमान को बहुत सटीक रूप से नियंत्रित करने में सक्षम है। |
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तापमान नियंत्रण मोड |
बुद्धिमान पीआईडी |
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बर्नआउट सुरक्षा और प्रदर्शन |
हाँ |
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अधिक तापमान से सुरक्षा |
हाँ |
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अतिवर्तमान सुरक्षा |
हाँ |
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सटीकता पर नियंत्रण रखें |
+/- 1 डिग्री |
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चालू कर देना |
चरण-शिफ्ट ट्रिगर |
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एससीआर |
106/16ई जर्मनी साइमन कांग |
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1.2 तापमान क्षेत्र अधिकतम तापमान |
1200 डिग्री |
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1.2 तापमान क्षेत्र रेटेड तापमान |
1150 डिग्री |
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तापन दर |
30 डिग्री/मिनट से कम या उसके बराबर (अनुरोध संशोधन पर उपलब्ध) |
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अनुशंसित ताप दर |
15 डिग्री/मिनट से कम या उसके बराबर |
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थर्मोकपल प्रकार |
के प्रकार |
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1.2 तापमान क्षेत्र तापन लंबाई |
205 मिमी |
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आसपास की सतह का तापमान |
45 डिग्री से कम या उसके बराबर |
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प्लाज्मा आरएफ पावर |
पावर आउटपुट रेंज |
0-500W |
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अधिकतम परावर्तित शक्ति |
10W |
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सिग्नल आवृत्ति |
13.56MHZ ± 0.005% |
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शोर |
<30 dB |
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हवा ठंडी करना |
ठंडा करने की विधि |
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इनपुट शक्ति |
208-240वी 50/60एचजेड |
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जीएक्स आपूर्ति प्रणाली के मुख्य पैरामीटर |
मानक सीमा |
प्रोटॉन प्रवाह नियंत्रक 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (आप कोई भी पैमाना चुन सकते हैं) |
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शुद्धता |
± 1.5% |
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दबाव में गिरावट |
<0.01MPa |
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repeatability |
± 0.2% F.S |
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अधिकतम परिचालन दाब |
3 MP |
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वी.एस.-0.1 निकास प्रणाली |
बिजली की आपूर्ति |
220V / 380V 380W |
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पम्पिंग दर |
2L / S |
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प्रतिरोध वैक्यूम गेज |
ZDR-I |
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वैक्यूम माप सीमा |
0.1-10 5 पा |
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वैक्यूम पंप |
वीआरडी-8 |
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नालीदार पाइप |
KF25X1000mm |
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वैक्यूम प्रणाली |
10 -1पा |
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उत्पाद का प्रदर्शन


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आईएसओ 9001

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